福祿克高效標定超高純（UHP）壓力傳感器解決方案

超高純（UHP）壓力傳感器作為半導(dǎo)體與光伏行業(yè)特種氣體輸送系統(tǒng)的核心部件，廣泛應(yīng)用于特氣柜、工藝設(shè)備配氣柜等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，直接關(guān)系到氣體輸送的精確性與安全性。

相較于常規(guī)壓力傳感器，UHP壓力傳感器具備以下幾項核心特性：

首先，其量程覆蓋范圍廣，需同時滿足機臺端25~50 psi絕壓、氣路分配箱100~250 psi絕壓或復(fù)合壓，以及特氣柜中250 psi至3000~5000 psi絕壓或復(fù)合壓的多種測量需求。

其次，在生產(chǎn)過程中對潔凈度有嚴格要求。為確保傳感器接液部件不受污染，需在全量程范圍內(nèi)使用高純氮氣進行標定或校準，并便于后續(xù)實施潔凈包裝。

此外，UHP壓力傳感器通常要求精度達到+/- 0.2%FS或0.25%FS，因此必須配備高精度的標定系統(tǒng)以實現(xiàn)可靠的線性校正。同時，其低溫漂補償性能也需高度可靠，確保在吹掃過程中不出現(xiàn)零點漂移。

福祿克8270A模塊化氣體壓力控制器具備寬范圍、多量程與高精度的氣壓控制能力，控壓范圍覆蓋真空至44 MPa（約6600 psi），測量精度高達0.01%FS或0.007%讀數(shù)，穩(wěn)壓精度為0.002%FS。該設(shè)備最多可同時搭載五個測壓模塊，不僅無量程比限制，還能實現(xiàn)自動切換。僅需單臺8270A控制器，即可完成全量程UHP壓力傳感器的標定與溫補任務(wù)，幫助生產(chǎn)企業(yè)構(gòu)建低成本、高效率的柔性標定體系，適應(yīng)小批量、多量程的精益生產(chǎn)模式。

以標定100 psi、250 psi和5000 psi三個量程的UHP傳感器為例，僅需一臺8270A配合6000 psi與300 psi兩個測壓模塊，即可覆蓋所有標定需求，系統(tǒng)綜合精度優(yōu)于各量程的0.03%。

此外，8270A主機集成電磁閥驅(qū)動功能，可通過控制三路電磁閥的啟閉，在一次升降溫循環(huán)中完成多量程傳感器的混合標定：

1、標定100 psi量程時，三路電磁閥全部開啟，系統(tǒng)自動選用300 psi模塊實施控壓與穩(wěn)壓；

2、標定250 psi量程時，關(guān)閉上路電磁閥，系統(tǒng)繼續(xù)使用300 psi模塊完成控制；

3、標定5000 psi量程時，僅保留下路電磁閥開啟，系統(tǒng)自動切換至6000 psi模塊進行穩(wěn)壓與控壓。