半導體生產(chǎn)中的照明系統(tǒng)和鎮(zhèn)流器

在半導體生產(chǎn)中，照明和電源對生產(chǎn)過程的質(zhì)量和效率起著至關(guān)重要的作用。

半導體生產(chǎn)應用

您是否在高精度條件下為電氣工程制造半導體，并需要強大的 248 nm 或 365 nm 紫外光源來表征晶圓或掩模版，或需要可靠的電源來支持您的氣體放電燈、分析系統(tǒng)或圖像處理解決方案？

除了經(jīng)典的 248 nm 氙氣汞混合氣體“深紫外系統(tǒng)”外，我們的產(chǎn)品組合還包括適用于 50 瓦及以上汞、氙和氙氣汞氣體放電燈的鎮(zhèn)流器。除了經(jīng)典的短弧燈光源和鎮(zhèn)流器外，我們還提供各種紫外-可見光 LED 光源。這些光源可以通過準直光學元件或光導直接耦合到您的系統(tǒng)中。

我們的緊湊型鎮(zhèn)流器可為您的半導體生產(chǎn)應用提供高度穩(wěn)定可靠的電源。它們?yōu)楣庠刺峁┳罴压╇?，并實現(xiàn)非常恒定的無閃爍光通量。

半導體制造產(chǎn)品